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北京化工大學(xué)、江蘇博硯科技有限公司聯(lián)合召開國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目推進(jìn)會(huì),我國(guó)微電子加工用高端超純化學(xué)品關(guān)鍵技術(shù)取得重大突破,并已在宜興建成年產(chǎn)1000噸黑色光阻示范生產(chǎn)線。這意味著,長(zhǎng)期受國(guó)外壟斷的微電子材料開始走向國(guó)產(chǎn)化,并為我國(guó)微電子及相關(guān)產(chǎn)業(yè)走出依賴“困境”起到了重要的引領(lǐng)作用。
微電子產(chǎn)業(yè)是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的支柱產(chǎn)業(yè),也是重點(diǎn)發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。但在此領(lǐng)域的核心技術(shù)、關(guān)鍵裝備與材料是我國(guó)產(chǎn)業(yè)的短板,長(zhǎng)期受歐美、日本等國(guó)家和地區(qū)的壟斷。江蘇博硯電子科技有限公司董事長(zhǎng)宗健說(shuō),“有資料顯示,2017年我國(guó)進(jìn)口芯片花費(fèi)2072億美元。從材料來(lái)說(shuō),目前國(guó)內(nèi)自我供給僅占總需求的10%左右。這種被動(dòng)局面繼續(xù)存在,將對(duì)我國(guó)信息安全及產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶來(lái)很大的潛在風(fēng)險(xiǎn)?!?br/>
北京化工大學(xué)理學(xué)院院長(zhǎng)聶俊介紹,該校主持承擔(dān)的“微電子加工用高端超純化學(xué)品”是國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目,自去年啟動(dòng)以來(lái),通過(guò)產(chǎn)學(xué)研合作,突破了微電子加工用高端電子化學(xué)品超純化處理技術(shù)瓶頸,實(shí)現(xiàn)微電子加工用高感度光引發(fā)劑和弱堿顯影樹脂的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及超純化規(guī)模制備,并將在國(guó)內(nèi)建成超純?nèi)谆X(7N級(jí))、納米色漿、光阻材料生產(chǎn)線、建立光阻材料的性能評(píng)價(jià)平臺(tái),實(shí)現(xiàn)從原材料至最終產(chǎn)品的自主配套。
北京化工大學(xué)黨委書記王芳認(rèn)為,事實(shí)證明,核心技術(shù)買不來(lái),只有靠自己,中國(guó)特色的產(chǎn)學(xué)研道路才能將打破壟斷、掌握核心技術(shù)做成功。微電子加工用高端超純化學(xué)品項(xiàng)目,能夠快速在關(guān)鍵技術(shù)上實(shí)現(xiàn)突破與量產(chǎn),就是一個(gè)成功的范例。
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