5月11日，由江蘇省納米技術產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心與中科院蘇州納米所納米加工平臺共建的集成微系統(tǒng)封裝平臺（MSPC，Micro System and Packaging Centre）揭牌儀式在蘇州國際博覽中心舉行，第四屆MEMS創(chuàng)新技術應用對接會暨中國半導體行業(yè)協(xié)會MEMS分會市場年會與揭牌儀式同期召開。

蘇州工業(yè)園區(qū)管委會副主任丁立新致辭。他表示，集成微系統(tǒng)封裝平臺的建設打通了產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關鍵環(huán)節(jié)，將填補產(chǎn)業(yè)鏈空白，滿足企業(yè)、科研院所甚至是軍工等多方面的需求；同時，也將提升核心芯片自主研發(fā)能力，提高核心芯片自給率，推動園區(qū)半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，縮小與國際領先水平的差距。希望借此契機，大家共同推進平臺建設水平，提升服務能力，推動產(chǎn)業(yè)對接合作，為轉型升級創(chuàng)新發(fā)展注入新的動力。

隨后，中科院科技促進發(fā)展局副局長趙千鈞、蘇州工業(yè)園區(qū)管委會副主任丁立新、中科院蘇州納米所所長楊輝、中國半導體行業(yè)協(xié)會常務副秘書長宮承和、東南大學MEMS教育部重點實驗室主任黃慶安和江蘇省納米技術產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心副理事長李健民共同為集成微系統(tǒng)封裝平臺揭牌。

中科院蘇州納米所納米加工平臺主任張寶順對新揭牌的封裝平臺作了技術介紹。

據(jù)悉，集成微系統(tǒng)封裝平臺是納米加工平臺面向重點產(chǎn)業(yè)需求的工程化項目，由江蘇省納米技術產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心牽頭組織，中科院蘇州納米所具體承擔，在中科院、省產(chǎn)研院和蘇州工業(yè)園區(qū)等多方支持下完成建設。目前已建成超凈室面積1300平方米，包括百級、千級近10個超凈實驗室，已采購各類8寸晶圓微納加工、封裝和測量設備50多臺/套，總投資近億元。平臺建成后將具備硅基微納加工技術和系統(tǒng)封裝技術，面向新型智能傳感器和半導體器件開展研發(fā)和工程化技術研究，并重點部署了壓電MEMS器件、高精度慣性MEMS器件、光學及紅外MEMS器件、硅基III-V族器件以及先進集成封裝等相關工藝。

近年來，蘇州工業(yè)園區(qū)堅持把科技創(chuàng)新作為區(qū)域發(fā)展的核心戰(zhàn)略，積極構建自主創(chuàng)新體系，大力營造開放包容的創(chuàng)新生態(tài)，正在形成以創(chuàng)新為主要引領和支撐的經(jīng)濟體系和發(fā)展模式。自2010年起，園區(qū)依托蘇州納米所，大力發(fā)展以MEMS和半導體為代表的納米技術應用產(chǎn)業(yè)，規(guī)劃了研發(fā)創(chuàng)新、創(chuàng)業(yè)孵化和規(guī)模產(chǎn)業(yè)化的一條龍產(chǎn)業(yè)布局，建有納米技術國家大學科技園、蘇州納米城等產(chǎn)業(yè)載體，以及納米加工平臺、納米支撐平臺、MEMS中試平臺等公共服務平臺，通過多方位創(chuàng)新要素的集聚，支持納米技術全產(chǎn)業(yè)鏈的快速發(fā)展。

作為國內集聚度最高的MEMS產(chǎn)業(yè)化基地，園區(qū)2017年MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值已超100億元，同比增幅20%以上，并涌現(xiàn)出明皜、敏芯、邁瑞微電子等一批銷售億元級的企業(yè)。MEMS產(chǎn)業(yè)已成為園區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重點領域和特色領域，基于MEMS技術的視覺、聽覺、壓力等各類傳感器及微處理器也是人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、智能制造等新興產(chǎn)業(yè)的關鍵核心器件，對促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。園區(qū)在國內率先布局集成微系統(tǒng)封裝平臺，也將進一步吸引和集聚MEMS、光電子、微電子等半導體企業(yè)，帶動整個上下游產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。